美国AE公司 质量流量控制器（MFC-7700系列）
优点：高性价比
响应速度快：小于2秒
***的可靠性：使用一年以上，零点漂移小于满量程的0.5%
易于集成：标准接头和尺寸
***的效果：高品质膜层与蚀刻特性
特性
非金属密封
VCR连接
量程范围从10SCCM到150SLM
常闭或常开式电磁阀
允许清洗流量：高达校准值的100倍
漏率1×10-6 atm-cc/秒(氦)
型号参数：
类别 | MFC-7700、7700C、7700CD、7700CU | MFC-7710、7710C、7710CD、7710CU | MFC-7720、7720C、7720CD |
满量程范围 | 10sccm到5slm | 6到20slm | 35到150slm |
20到50slm | |||
响应时间 | 到达设***±2%所需时间<2秒 | 到达设***±2%所需时间<3秒 | |
精度 | 满量程±1%范围内 | 满量程±2%范围内 | |
线性度 | 满量程±0.5%范围内 | 满量程±0.5%范围内 | 满量程±1%范围内 |
满量程±1%范围内 | |||
重复精度 | 满量程±0.2%范围内 | ||
漏率 | 值1×10-6 atm-cc/秒(氦) | ||
控制范围 | 满量程的5到*** | ||
压差 | 7至40 psi | 10至40 psi(517至2069托) | 21至40 psi(1086至2069托) |
(362至2069托) | 14至40 psi(724至2069托) | ||
正常工作压力 | 50 psi(2586托) | ||
入口压力 | 值150 psi(7740托) | ||
温度范围 | 5至45℃ | ||
注：可根据不同客户的需求，选择全金属密封的MFC-7800CD系列，数字型的MFC-D770系列，全金属密封及数字型的MFC-D980系列。
